Фотоника - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2026
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-7296 (print)
ISSN 2686-844X (online)

Книги по фотонике

Тег "laser-induced forward transfer (lift)"

Фотоника #6/2025
М. С. Ковалев, Н. Г. Сцепуро, Е. В. Ултургашева, С. И. Кудряшов
Одноимпульсный лазерно-индуцированный перенос Al на подложку Si для создания омических контактов

DOI: 10.22184/1993-7296.FRos.2025.19.6.466.477 В статье исследованы алюминиевые контакты на кремниевых подложках, созданные методом лазерно-индуцированного переноса. Установлено, что при одноимпульсном режиме экспонирования в точку поверхности и плотности энергии 15 Дж / см2 достигается концентрация алюминия 18,6% и минимальное контактное сопротивление 439 ± 4 Ом. Метод упрощает процесс формирования контакта и исключает необходимость в сложной очистке, что делает его перспективным для будущих электронных приложений на основе кремния.