Тег "diamond; uv detector; laser ablation; graphitization"
Фотоника #7/2025
В. Г. Ральченко, В. П. Пашинин, А. Ф. Попович, А. П. Большаков, А. К. Мартьянов, К. В. Захарченко, В. И. Конов, Б. Дай
УФ-детектор на алмазе с графитовыми электродами, сформированными лазерной абляцией
DOI: 10.22184/1993-7296.FRos.2025.19.7.578.586 Алмаз, широкозонный радиационно-стойкий полупроводник, перспективен для создания детекторов УФ излучения, в том числе «солнечно-слепых». Реализован вариант полностью углеродного УФ-детектора на монокристальной пластине CVD алмаза со встречно-штыревыми электродами в виде системы мелких (приповерхностных) и глубоких графитизированных канавок, полученных лазерной абляцией без применения литографии. Моделирование распределения электрического поля в детекторе показало преимущество использования заглубленных электродов, которые обеспечивают более однородное распределение поля в кристалле. Спектры фоточувствительности демонстрируют острый максимум в области длин волн 220 нм, причем для заглубленных электродов амплитуда отклика на 75% выше (14 А / Вт).