УФ-детектор на алмазе с графитовыми электродами, сформированными лазерной абляцией
Алмаз, широкозонный радиационно-стойкий полупроводник, перспективен для создания детекторов УФ излучения, в том числе «солнечно-слепых». Реализован вариант полностью углеродного УФ-детектора на монокристальной пластине CVD алмаза со встречно-штыревыми электродами в виде системы мелких (приповерхностных) и глубоких графитизированных канавок, полученных лазерной абляцией без применения литографии. Моделирование распределения электрического поля в детекторе показало преимущество использования заглубленных электродов, которые обеспечивают более однородное распределение поля в кристалле. Спектры фоточувствительности демонстрируют острый максимум в области длин волн 220 нм, причем для заглубленных электродов амплитуда отклика на 75% выше (14 А / Вт).
Теги: diamond; uv detector; laser ablation; graphitization алмаз; уф-детектор; лазерная абляция графитизация
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
eng


