Фотоника - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2026
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-7296 (print)
ISSN 2686-844X (online)

Книги по фотонике

Тег "спектральная эллипсометрия"

Фотоника #8/2025
Е. С. Жимулева, П. С. Завьялов, А. В. Солдатенко, И. А. Азаров, Е. В. Спесивцев, Д. Р. Хакимов, С. Р. Аверина
Зеркальный объектив для промышленных эллипсометров в составе производственных линеек изготовления интегральных схем

DOI: 10.22184/1993-7296.FRos.2025.19.8.634.640 В статье предложена общая концепция модели промышленного эллипсометра, предназначенного для контроля толщины пленок функциональных и вспомогательных слоев, составляющих основу конструкции интегральных схем. Описаны оптический дизайн эллипсометра с зеркальными объективами и экспериментальное исследование зеркальной оптики. Математическое моделирование подтверждено экспериментальными данными.

Наноиндустрия #5/2017
Н.Герасименко, А.Волоховский, О.Запорожан
Особенности контроля технологии кремниевых наноструктур

Рассматривая технологический процесс производства кремниевых наноструктур, важно учитывать их переход в состояние размерного квантования, сопровождаемый изменением их механических и структурных свойств. Эти эффекты также необходимо учитывать при разработке системы контроля технологического процесса производства приборов и систем, содержащих наноразмерные структуры. В данной работе рассматриваются новые требования к контролю технологических процессов, в том числе, предъявляемые к оборудованию, с помощью которого осуществляется этот контроль. УДК 54-1, ВАК 05.27.01, DOI: 10.22184/1993-8578.2017.76.5.36.51