eng
Выпуск #8/2025
Е. С. Жимулева, П. С. Завьялов, А. В. Солдатенко, И. А. Азаров, Е. В. Спесивцев, Д. Р. Хакимов, С. Р. Аверина
Зеркальный объектив для промышленных эллипсометров в составе производственных линеек изготовления интегральных схем
Зеркальный объектив для промышленных эллипсометров в составе производственных линеек изготовления интегральных схем
Просмотры: 164
DOI: 10.22184/1993-7296.FRos.2025.19.8.634.640
В статье предложена общая концепция модели промышленного эллипсометра, предназначенного для контроля толщины пленок функциональных и вспомогательных слоев, составляющих основу конструкции интегральных схем. Описаны оптический дизайн эллипсометра с зеркальными объективами и экспериментальное исследование зеркальной оптики. Математическое моделирование подтверждено экспериментальными данными.
Теги: integrated circuits mirror microlenses optical design spectral ellipsometry зеркальные микрообъективы интегральные схемы оптический дизайн спектральная эллипсометрия
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
В статье предложена общая концепция модели промышленного эллипсометра, предназначенного для контроля толщины пленок функциональных и вспомогательных слоев, составляющих основу конструкции интегральных схем. Описаны оптический дизайн эллипсометра с зеркальными объективами и экспериментальное исследование зеркальной оптики. Математическое моделирование подтверждено экспериментальными данными.
Теги: integrated circuits mirror microlenses optical design spectral ellipsometry зеркальные микрообъективы интегральные схемы оптический дизайн спектральная эллипсометрия
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Отзывы читателей
