eng
Выпуск #7/2019
М. В. Канзюба
Метрологическое обеспечение измерений временных характеристик импульсного лазерного излучения в пикосекундном диапазоне
Метрологическое обеспечение измерений временных характеристик импульсного лазерного излучения в пикосекундном диапазоне
Просмотры: 2968
DOI: 10.22184/1992-7296.FRos.2019.13.7.670.675
Прецизионная обработка материалов, техника лазерной дальнометрии и медицины используют пикосекундные импульсные лазерные системы. Это требует создания средств измерений временных характеристик импульсного лазерного излучения. В статье представлены результаты деятельности ВНИИОФИ в области метрологического обеспечения измерений временных характеристик импульсного лазерного излучения в пикосекундном диапазоне.
Прецизионная обработка материалов, техника лазерной дальнометрии и медицины используют пикосекундные импульсные лазерные системы. Это требует создания средств измерений временных характеристик импульсного лазерного излучения. В статье представлены результаты деятельности ВНИИОФИ в области метрологического обеспечения измерений временных характеристик импульсного лазерного излучения в пикосекундном диапазоне.
Теги: metrological support pulsed laser radiation temporal parameters временные характеристики импульсное лазерное излучение метрологическое обеспечение
Введение
В настоящее время в таких областях, как прецизионная обработка материалов, лазерная дальнометрия, медицина, научные исследования, оборонная техника, получают все более широкое распространение пикосекундные импульсные лазерные системы. Свойства таких систем существенным образом зависят от временных характеристик генерируемого импульсного излучения. В связи с этим возрастает потребность в средствах измерений (СИ) временных характеристик импульсного лазерного излучения (в частности, длительности импульсов, интервалов между ними) в пикосекундном диапазоне (10–12–10–9 с). Для нормирования метрологических характеристик СИ необходимо наличие метрологического обеспечения – эталонной базы, поверочной схемы, методик поверки и испытаний в целях утверждения типа СИ.
Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии (Росстандарт) на Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений (ВНИИОФИ) возложены функции головной организации в области оптико-физических измерений и метрологии быстропротекающих процессов. Измерения временных характеристик пикосекундных оптических импульсов относятся к обеим указанным категориям.
Обычно для прямых измерений длительности оптических импульсов в наносекундном диапазоне используется высокоскоростной фотодетектор, подключенный к широкополосному осциллографу. Чтобы иметь возможность измерять пикосекундные импульсы, такая система должна иметь очень малое время нарастания переходной характеристики (ПХ). Существуют осциллографы, которые имеют время нарастания ПХ не более 4 пс [1], но в этом случае ограничивающим фактором является время нарастания ПХ фотодетектора, которое пока не превосходит 7 пс для лучших образцов [2]. Использование стробоскопических осциллографов возможно только для повторяющихся сигналов с хорошо воспроизводящейся формой.
Таким образом, задача измерения временных характеристик лазерных импульсов в пикосекундном диапазоне предъявляет высокие требования к быстродействию аппаратуры (полоса пропускания, время нарастания ПХ). Кроме того, необходимо учитывать высокую стоимость и ограниченную доступность такой аппаратуры. В то же время существует альтернатива – фотохронографические электронно-оптические камеры (ЭОК), также известные как стрик-камеры (англ. streak camera). ЭОК пригодны для исследования однократных сигналов и обладают временным разрешением вплоть до 0,1 пс [3]. Принцип действия ЭОК основан на преобразовании потока оптического излучения, прошедшего через входную щель на фотокатод электронно-оптического преобразователя (ЭОП), в поток фотоэлектронов, который отклоняется (развертывается) импульсным электрическим полем в направлении, перпендикулярном щели, и снова преобразуется в световой поток в люминофоре, нанесенном на волоконно-оптическую пластину (ВОП).
Развернутое по люминесцентному экрану ЭОП изображение входной щели, яркость которого пропорциональна мгновенной мощности излучения, регистрируется с помощью ПЗС‑матрицы. По этому изображению можно определять форму оптических импульсов и измерять их временные характеристики.
ВНИИОФИ занимается разработкой и производством ЭОК на протяжении всей своей истории. Так, первая в мире промышленная ЭОК ФЭР‑2 была разработана во ВНИИОФИ в 1966 году. [4]. Поэтому во ВНИИОФИ при разработке аппаратуры для измерений временных характеристик импульсного лазерного излучения в пикосекундном диапазоне ставка сделана на использование ЭОК собственного производства.
Далее представлены результаты деятельности ВНИИОФИ в области метрологического обеспечения измерений временных характеристик импульсного лазерного излучения в пикосекундном диапазоне.
1. Создание и включение в состав усовершенствованного Государственного первичного специального эталона ГЭТ 187-2016 комплекса технических средств для воспроизведения, хранения и передачи единицы длительности импульса лазерного излучения в диапазоне от 5 · 10–11 до 1 · 10–9 с
С 2010 года во ВНИИОФИ эксплуатируется Государственный первичный специальный эталон единиц энергии, распределения плотности энергии, длительности импульса и длины волны лазерного излучения ГЭТ 187-2010 [5], в состав которого входит комплекс средств измерений для воспроизведения и передачи единицы длительности импульса лазерного излучения. Данный комплекс воспроизводит единицу длительности импульса в диапазоне от 1 · 10–9 до 1 · 10–6 с.
В результате выполнения работы по совершенствованию эталона создан и включен в его состав новый комплекс технических средств для воспроизведения, хранения и передачи единицы длительности импульса лазерного излучения в диапазоне от 5 · 10–11 до 1 · 10–9 с. Принцип действия комплекса основан на измерении длительности импульса, генерируемого лазерной системой, с помощью ЭОК, временная шкала которой калибруется с использованием интерферометра Фабри–Перо. Подробное описание устройства и работы комплекса дано в публикации [6]. Основные характеристики комплекса представлены в табл. 1, внешний вид комплекса показан на рис. 1.
Усовершенствованный Государственный первичный специальный эталон ГЭТ 187-2016 утвержден приказом Росстандарта № 2089 от 30.12.2016.
2. Создание и аттестация Государственного вторичного эталона единицы длительности импульса лазерного излучения в диапазоне от 3 · 10–12 до 1 · 10–9 с
По принципу действия вторичный эталон аналогичен рассмотренному выше комплексу в составе первичного эталона. Отличия заключаются в изменении рабочей длины волны в область максимальной чувствительности распространенных типов фотокатодов ЭОК и расширению диапазона измерений длительности импульса в сторону малых значений за счет использования ЭОК с улучшенным временным разрешением. Разработке и исследованию метрологических характеристик эталона посвящена отдельная публикация [7]. Основные характеристики эталона представлены в табл. 2, внешний вид эталона показан на рис. 2.
Эталон, получивший регистрационный № 2.1.ZZА.0101.2017, прошел первичную аттестацию в 2017 году и утвержден приказом Росстандарта № 406 от 05.03.2018.
3. Включение в Государственную поверочную схему (ГПС) для СИ энергии, распределения плотности энергии, длительности импульса и длины волны лазерного излучения в диапазоне длин волн от 0,3 до 2,0 мкм ветви для СИ длительности импульса лазерного излучения в диапазоне от 10–11 до 10–9 с
Действовавшая с 01.07.2013 ГПС для СИ энергии, распределения плотности энергии, длительности импульса и длины волны лазерного излучения в диапазоне длин волн от 0,3 до 2,0 мкм (ГОСТ Р 8.780-2012), возглавляемая Государственным первичным специальным эталоном ГЭТ 187-2010, после введения в эксплуатацию нового комплекса технических средств для воспроизведения, хранения и передачи единицы длительности импульса лазерного излучения в диапазоне от 5 · 10–11 до 1 · 10–9 с в составе усовершенствованного эталона ГЭТ 187–2016 нуждалась в обновлении.
В результате в ГПС была включена новая ветвь для СИ длительности импульса лазерного излучения в диапазоне от 10–11 до 10–9 с (рис. 3), возглавляемая вновь созданным комплексом технических средств для воспроизведения, хранения и передачи единицы длительности импульса лазерного излучения в диапазоне от 5 · 10–11 до 1 · 10–9 с в составе эталона ГЭТ 187-2016.
Обновленная ГПС утверждена приказом Росстандарта № 2088 от 28.09.2018, действует с 01.01.2019.
4. Утверждение типа СИ для фотохронографических электронно-оптических камер К016 как СИ временных параметров импульсного оптического излучения с диапазоном измерений от 1 · 10–11 до 1,8 · 10–8 с
Во ВНИИОФИ разработаны и производятся фотохронографические электронно-оптические камеры К016, предназначенные для измерения временных характеристик оптических импульсов. Внешний вид камеры К016 показан на рис. 4.
Камера К016 представляет собой миниатюрную моноблочную конструкцию, в корпусе которой расположены фотохронографический ЭОП с фотокатодом, отклоняющей системой и люминесцентным экраном на ВОП, электронно-оптический усилитель яркости, блоки питания и управления, считывающее устройство на базе ПЗС‑камеры. Регистрируемое камерой изображение по интерфейсу USB вводится в компьютер с установленным специальным программным обеспечением (ПО). Основными функциями данного ПО являются обработка и вывод на дисплей изображений, регистрируемых камерой, а также измерение временных характеристик оптических импульсов в соответствии с ГОСТ Р ИСО 11554-2008. ПО осуществляет коррекцию геометрических и фотометрических искажений изображения, возникающих в электронно-оптическом тракте камеры. Поддерживается съемка с накоплением и усреднением, при этом возможна программная коррекция джиттера. Можно выполнять арифметические операции над изображениями, определять различные числовые характеристики изображения, строить профили яркости вдоль пространственной и временной оси, измерять временные характеристики одного или нескольких импульсов. Изображения на дисплее компьютера могут быть представлены в нескольких вариантах псевдоокрашивания, чем достигается увеличение числа визуально различимых уровней яркости. Функция экспорта изображения в графический формат TIFF позволяет при необходимости воспользоваться сторонними средствами обработки изображений. Метрологические и основные технические характеристики камер К016 приведены в табл. 3.
Камеры К016 в 2017 году успешно прошли испытания с целью утверждения типа СИ. Тип СИ утвержден приказом Росстандарта № 1306 от 28.06.2018, сведения внесены в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений (регистрационный № 71686-18). Таким образом, камеры К016 могут применяться в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений.
Выводы
Таким образом, в настоящее время у ВНИИОФИ имеется все необходимое для выполнения работ по поверке, калибровке и испытаниям в целях утверждения типа СИ в области измерений временных характеристик импульсного лазерного излучения в пикосекундном диапазоне. Кроме того, ВНИИОФИ может предложить потребителям СИ утвержденного типа для измерения временных характеристик оптических импульсов в пикосекундном диапазоне.
Дальнейшие перспективы совершенствования метрологического обеспечения измерений временных характеристик импульсного лазерного излучения в пикосекундном диапазоне связаны с созданием переносных рабочих эталонов, которые позволят осуществлять метрологическую аттестацию СИ в местах их применения. Пока что передача единицы рабочим СИ производится непосредственно от вторичного эталона, находящегося во ВНИИОФИ. Категория рабочих эталонов, с помощью которых осуществляется передача единицы от вышестоящих эталонов рабочим СИ, уже предусмотрена в действующей с 01.01.2019 ГПС.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
https://www.keysight.com/ru/pcx‑2935671/uxr-series-real-time-infiniium-oscilloscopes.
https://www.macom.com/products/product-detail/11000-03.
https://www.hamamatsu.com/eu/en/product/type/C11853-01/index.html.
Бутслов М. М., Дрожбин Ю. А., Горбенко Б. З., Толмачев А. М., Коринфский Д. Ф., Яковлев В. А., Нефедьев В. А., Ляпин И. В. Измерительная техника. 1972; 11: 21–23.
Абдрахманов К. Ш., Либерман А. А., Москалюк С. А., Улановский М. В. Измерительная техника. 2013; 12: 3–7.
Канзюба М. В., Берлизов А. Б., Крутиков В. Н., Фельдман Г. Г. Измерительная техника. 2018;11: 11–14;
Kanzyuba M. V., Berlizov A. B., Krutikov V. N., Lebedev V. B., Feldman G. G. Proc. SPIE 10328. 2017;103280G.
REFERENCE
https://www.keysight.com/ru/pcx‑2935671/uxr-series-real-time-infiniium-oscilloscopes.
https://www.macom.com/products/product-detail/11000–03.
https://www.hamamatsu.com/eu/en/product/type/C11853–01/index.html.
Butslov M. M., Drozhbin Yu.A., Gorbenko B. Z., Tolmachev A. M., Korinfskii D. F., Yakovlev V. A., Nefed’ev V.A., Lyapin I. V. Measurement Techniques. 1972; 15(11):1626–1629.
Abdrakhmanov K. S., Liberman A. A., Moskalyuk S. A., Ulanovskii M. V. Measurement Techniques. 2014; 56(12):1311–1317.
Kanzyuba M. V., Berlizov A. B., Krutikov V. N., Feldman G. G. Measurement Techniques. 2019; 61(11):1052–1056.
Kanzyuba M. V., Berlizov A. B., Krutikov V. N., Lebedev V. B., Feldman G. G. Proc. SPIE 10328. 2017;103280G.
В настоящее время в таких областях, как прецизионная обработка материалов, лазерная дальнометрия, медицина, научные исследования, оборонная техника, получают все более широкое распространение пикосекундные импульсные лазерные системы. Свойства таких систем существенным образом зависят от временных характеристик генерируемого импульсного излучения. В связи с этим возрастает потребность в средствах измерений (СИ) временных характеристик импульсного лазерного излучения (в частности, длительности импульсов, интервалов между ними) в пикосекундном диапазоне (10–12–10–9 с). Для нормирования метрологических характеристик СИ необходимо наличие метрологического обеспечения – эталонной базы, поверочной схемы, методик поверки и испытаний в целях утверждения типа СИ.
Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии (Росстандарт) на Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений (ВНИИОФИ) возложены функции головной организации в области оптико-физических измерений и метрологии быстропротекающих процессов. Измерения временных характеристик пикосекундных оптических импульсов относятся к обеим указанным категориям.
Обычно для прямых измерений длительности оптических импульсов в наносекундном диапазоне используется высокоскоростной фотодетектор, подключенный к широкополосному осциллографу. Чтобы иметь возможность измерять пикосекундные импульсы, такая система должна иметь очень малое время нарастания переходной характеристики (ПХ). Существуют осциллографы, которые имеют время нарастания ПХ не более 4 пс [1], но в этом случае ограничивающим фактором является время нарастания ПХ фотодетектора, которое пока не превосходит 7 пс для лучших образцов [2]. Использование стробоскопических осциллографов возможно только для повторяющихся сигналов с хорошо воспроизводящейся формой.
Таким образом, задача измерения временных характеристик лазерных импульсов в пикосекундном диапазоне предъявляет высокие требования к быстродействию аппаратуры (полоса пропускания, время нарастания ПХ). Кроме того, необходимо учитывать высокую стоимость и ограниченную доступность такой аппаратуры. В то же время существует альтернатива – фотохронографические электронно-оптические камеры (ЭОК), также известные как стрик-камеры (англ. streak camera). ЭОК пригодны для исследования однократных сигналов и обладают временным разрешением вплоть до 0,1 пс [3]. Принцип действия ЭОК основан на преобразовании потока оптического излучения, прошедшего через входную щель на фотокатод электронно-оптического преобразователя (ЭОП), в поток фотоэлектронов, который отклоняется (развертывается) импульсным электрическим полем в направлении, перпендикулярном щели, и снова преобразуется в световой поток в люминофоре, нанесенном на волоконно-оптическую пластину (ВОП).
Развернутое по люминесцентному экрану ЭОП изображение входной щели, яркость которого пропорциональна мгновенной мощности излучения, регистрируется с помощью ПЗС‑матрицы. По этому изображению можно определять форму оптических импульсов и измерять их временные характеристики.
ВНИИОФИ занимается разработкой и производством ЭОК на протяжении всей своей истории. Так, первая в мире промышленная ЭОК ФЭР‑2 была разработана во ВНИИОФИ в 1966 году. [4]. Поэтому во ВНИИОФИ при разработке аппаратуры для измерений временных характеристик импульсного лазерного излучения в пикосекундном диапазоне ставка сделана на использование ЭОК собственного производства.
Далее представлены результаты деятельности ВНИИОФИ в области метрологического обеспечения измерений временных характеристик импульсного лазерного излучения в пикосекундном диапазоне.
1. Создание и включение в состав усовершенствованного Государственного первичного специального эталона ГЭТ 187-2016 комплекса технических средств для воспроизведения, хранения и передачи единицы длительности импульса лазерного излучения в диапазоне от 5 · 10–11 до 1 · 10–9 с
С 2010 года во ВНИИОФИ эксплуатируется Государственный первичный специальный эталон единиц энергии, распределения плотности энергии, длительности импульса и длины волны лазерного излучения ГЭТ 187-2010 [5], в состав которого входит комплекс средств измерений для воспроизведения и передачи единицы длительности импульса лазерного излучения. Данный комплекс воспроизводит единицу длительности импульса в диапазоне от 1 · 10–9 до 1 · 10–6 с.
В результате выполнения работы по совершенствованию эталона создан и включен в его состав новый комплекс технических средств для воспроизведения, хранения и передачи единицы длительности импульса лазерного излучения в диапазоне от 5 · 10–11 до 1 · 10–9 с. Принцип действия комплекса основан на измерении длительности импульса, генерируемого лазерной системой, с помощью ЭОК, временная шкала которой калибруется с использованием интерферометра Фабри–Перо. Подробное описание устройства и работы комплекса дано в публикации [6]. Основные характеристики комплекса представлены в табл. 1, внешний вид комплекса показан на рис. 1.
Усовершенствованный Государственный первичный специальный эталон ГЭТ 187-2016 утвержден приказом Росстандарта № 2089 от 30.12.2016.
2. Создание и аттестация Государственного вторичного эталона единицы длительности импульса лазерного излучения в диапазоне от 3 · 10–12 до 1 · 10–9 с
По принципу действия вторичный эталон аналогичен рассмотренному выше комплексу в составе первичного эталона. Отличия заключаются в изменении рабочей длины волны в область максимальной чувствительности распространенных типов фотокатодов ЭОК и расширению диапазона измерений длительности импульса в сторону малых значений за счет использования ЭОК с улучшенным временным разрешением. Разработке и исследованию метрологических характеристик эталона посвящена отдельная публикация [7]. Основные характеристики эталона представлены в табл. 2, внешний вид эталона показан на рис. 2.
Эталон, получивший регистрационный № 2.1.ZZА.0101.2017, прошел первичную аттестацию в 2017 году и утвержден приказом Росстандарта № 406 от 05.03.2018.
3. Включение в Государственную поверочную схему (ГПС) для СИ энергии, распределения плотности энергии, длительности импульса и длины волны лазерного излучения в диапазоне длин волн от 0,3 до 2,0 мкм ветви для СИ длительности импульса лазерного излучения в диапазоне от 10–11 до 10–9 с
Действовавшая с 01.07.2013 ГПС для СИ энергии, распределения плотности энергии, длительности импульса и длины волны лазерного излучения в диапазоне длин волн от 0,3 до 2,0 мкм (ГОСТ Р 8.780-2012), возглавляемая Государственным первичным специальным эталоном ГЭТ 187-2010, после введения в эксплуатацию нового комплекса технических средств для воспроизведения, хранения и передачи единицы длительности импульса лазерного излучения в диапазоне от 5 · 10–11 до 1 · 10–9 с в составе усовершенствованного эталона ГЭТ 187–2016 нуждалась в обновлении.
В результате в ГПС была включена новая ветвь для СИ длительности импульса лазерного излучения в диапазоне от 10–11 до 10–9 с (рис. 3), возглавляемая вновь созданным комплексом технических средств для воспроизведения, хранения и передачи единицы длительности импульса лазерного излучения в диапазоне от 5 · 10–11 до 1 · 10–9 с в составе эталона ГЭТ 187-2016.
Обновленная ГПС утверждена приказом Росстандарта № 2088 от 28.09.2018, действует с 01.01.2019.
4. Утверждение типа СИ для фотохронографических электронно-оптических камер К016 как СИ временных параметров импульсного оптического излучения с диапазоном измерений от 1 · 10–11 до 1,8 · 10–8 с
Во ВНИИОФИ разработаны и производятся фотохронографические электронно-оптические камеры К016, предназначенные для измерения временных характеристик оптических импульсов. Внешний вид камеры К016 показан на рис. 4.
Камера К016 представляет собой миниатюрную моноблочную конструкцию, в корпусе которой расположены фотохронографический ЭОП с фотокатодом, отклоняющей системой и люминесцентным экраном на ВОП, электронно-оптический усилитель яркости, блоки питания и управления, считывающее устройство на базе ПЗС‑камеры. Регистрируемое камерой изображение по интерфейсу USB вводится в компьютер с установленным специальным программным обеспечением (ПО). Основными функциями данного ПО являются обработка и вывод на дисплей изображений, регистрируемых камерой, а также измерение временных характеристик оптических импульсов в соответствии с ГОСТ Р ИСО 11554-2008. ПО осуществляет коррекцию геометрических и фотометрических искажений изображения, возникающих в электронно-оптическом тракте камеры. Поддерживается съемка с накоплением и усреднением, при этом возможна программная коррекция джиттера. Можно выполнять арифметические операции над изображениями, определять различные числовые характеристики изображения, строить профили яркости вдоль пространственной и временной оси, измерять временные характеристики одного или нескольких импульсов. Изображения на дисплее компьютера могут быть представлены в нескольких вариантах псевдоокрашивания, чем достигается увеличение числа визуально различимых уровней яркости. Функция экспорта изображения в графический формат TIFF позволяет при необходимости воспользоваться сторонними средствами обработки изображений. Метрологические и основные технические характеристики камер К016 приведены в табл. 3.
Камеры К016 в 2017 году успешно прошли испытания с целью утверждения типа СИ. Тип СИ утвержден приказом Росстандарта № 1306 от 28.06.2018, сведения внесены в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений (регистрационный № 71686-18). Таким образом, камеры К016 могут применяться в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений.
Выводы
Таким образом, в настоящее время у ВНИИОФИ имеется все необходимое для выполнения работ по поверке, калибровке и испытаниям в целях утверждения типа СИ в области измерений временных характеристик импульсного лазерного излучения в пикосекундном диапазоне. Кроме того, ВНИИОФИ может предложить потребителям СИ утвержденного типа для измерения временных характеристик оптических импульсов в пикосекундном диапазоне.
Дальнейшие перспективы совершенствования метрологического обеспечения измерений временных характеристик импульсного лазерного излучения в пикосекундном диапазоне связаны с созданием переносных рабочих эталонов, которые позволят осуществлять метрологическую аттестацию СИ в местах их применения. Пока что передача единицы рабочим СИ производится непосредственно от вторичного эталона, находящегося во ВНИИОФИ. Категория рабочих эталонов, с помощью которых осуществляется передача единицы от вышестоящих эталонов рабочим СИ, уже предусмотрена в действующей с 01.01.2019 ГПС.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
https://www.keysight.com/ru/pcx‑2935671/uxr-series-real-time-infiniium-oscilloscopes.
https://www.macom.com/products/product-detail/11000-03.
https://www.hamamatsu.com/eu/en/product/type/C11853-01/index.html.
Бутслов М. М., Дрожбин Ю. А., Горбенко Б. З., Толмачев А. М., Коринфский Д. Ф., Яковлев В. А., Нефедьев В. А., Ляпин И. В. Измерительная техника. 1972; 11: 21–23.
Абдрахманов К. Ш., Либерман А. А., Москалюк С. А., Улановский М. В. Измерительная техника. 2013; 12: 3–7.
Канзюба М. В., Берлизов А. Б., Крутиков В. Н., Фельдман Г. Г. Измерительная техника. 2018;11: 11–14;
Kanzyuba M. V., Berlizov A. B., Krutikov V. N., Lebedev V. B., Feldman G. G. Proc. SPIE 10328. 2017;103280G.
REFERENCE
https://www.keysight.com/ru/pcx‑2935671/uxr-series-real-time-infiniium-oscilloscopes.
https://www.macom.com/products/product-detail/11000–03.
https://www.hamamatsu.com/eu/en/product/type/C11853–01/index.html.
Butslov M. M., Drozhbin Yu.A., Gorbenko B. Z., Tolmachev A. M., Korinfskii D. F., Yakovlev V. A., Nefed’ev V.A., Lyapin I. V. Measurement Techniques. 1972; 15(11):1626–1629.
Abdrakhmanov K. S., Liberman A. A., Moskalyuk S. A., Ulanovskii M. V. Measurement Techniques. 2014; 56(12):1311–1317.
Kanzyuba M. V., Berlizov A. B., Krutikov V. N., Feldman G. G. Measurement Techniques. 2019; 61(11):1052–1056.
Kanzyuba M. V., Berlizov A. B., Krutikov V. N., Lebedev V. B., Feldman G. G. Proc. SPIE 10328. 2017;103280G.
Отзывы читателей
