Гиперхроматические объективы являются основой конфокальных датчиков поверхности. Сфера применения таких датчиков весьма обширна. Датчики позволяют выполнять как прецизионное позиционирование исполнительных элементов для формирования микро- и наноструктур высокого качества с глубиной до нескольких десятков микрометров, так и измерение их профиля.

DOI: 10.22184/1993-7296.2017.65.5.80.90

sitemap

Разработка: студия Green Art