eng
Выпуск #4/2025
А. И. Аржанов, А. С. Шелковников, В. В. Шульга, К. Е. Алексашин, А. О. Колесников, А. Н. Шатохин, Е. Н. Рагозин, А. В. Наумов
Штамповая электронная нанолитография как инструмент изготовления апериодических дифракционных решеток для рентгеновской оптики
Штамповая электронная нанолитография как инструмент изготовления апериодических дифракционных решеток для рентгеновской оптики
Просмотры: 637
DOI: 10.22184/1993-7296.FRos.2025.19.4.292.295
Представлены результаты изготовления и характеризации с использованием сканирующего атомно-силового микроскопа металлизированных апериодических дифракционных решеток (с частотой штрихов от 150 до 570 линий на мм) с использованием модернизированного штампового сканирующего электронного нанолитографа ZBA-21 с технологическим стандартом 200 нм и рабочей площадью изделия 150× 150 мм.
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Представлены результаты изготовления и характеризации с использованием сканирующего атомно-силового микроскопа металлизированных апериодических дифракционных решеток (с частотой штрихов от 150 до 570 линий на мм) с использованием модернизированного штампового сканирующего электронного нанолитографа ZBA-21 с технологическим стандартом 200 нм и рабочей площадью изделия 150× 150 мм.
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Отзывы читателей
