DOI: 10.22184/1993-7296.FRos.2025.19.2.116.129

В статье описана встраиваемая измерительная система отечественной разработки для контроля формы оптических деталей, которая может быть использована на ультрапрецизионных станках, предназначенных для алмазного точения. Система контроля имеет в составе контактный и бесконтактный датчики, низкокогерентный интерферометр, преобразователь сигнала и программное обеспечение, позволяющее проводить расчет отклонений формы сферических и асферических поверхностей и корректировать код управляющей программы для исключения систематических отклонений формы. Приведены примеры использования контактного датчика для повышения точности формы P-V асферических линз из германия диаметром 90 мм с 1,4 мкм до 100 нм после компенсации систематических отклонений формы. Описаны возможности использования бесконтактного датчика входящего в измерительную систему для выполнения юстировки ультрапрецизионного станка, а также контроля плоских и цилиндрических поверхностей.