Лазер – идеальный инструмент для прецизионной микрообработки хрупких неметаллов в микроэлектронике: реза и сверления корпусов из низкотемпературной керамики (Low Temperature Cofired Ceramics – LTCC) и высокотемпературных отожженных керамических модулей (High Temperature Cofired Ceramics – HTCC). В статье представлен малогабаритный СО2-лазерный модуль для изготовления в керамических материалах отверстий и полостей и описан опыт его использования.

sitemap

Разработка: студия Green Art