В журнале "Фотоника" 2010, №1 была опубликована статья "EUV-нанолитография. Проблемы и перспективы развития" В.Анчуткина, А.Бельского, О.Гущина. Другие авторы, признанные российские эксперты, излагают свою точку зрения на экономические и технологические аспекты развития литографии. С учетом знания реального уровня развития технологий и стратегиче­ских задач отече­ственной микроэлектроники они обсуждают вопрос: какая литография нужна россий­ской электронике?

sitemap

Разработка: студия Green Art