Многоступенчатый технологический процесс изготовления вакуумных газоразрядных приборов (ГП) требует постоянного контроля их герметичности. Поверхностные химически активные слои внутренних элементов ГП адсорбируют газы, которые позже начинают выделяться. Порой бывает сложно отделить процесс натекания атмосферных газов в ГП, который свидетельствует о нарушении их герметичности, от процессов внутреннего газоотделения. В статье описана методика спектрального анализа, позволяющая разделить эти два процесса.

sitemap

Разработка: студия Green Art